Technologien der Mikrosysteme (PDF)

Name: Technologien der Mikrosysteme
Brand: Springer Fachmedien Wiesbaden
SKU: 146587951
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Autor: Ha Duong Ngo

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Technologien der Mikrosysteme, Ha Duong Ngo

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Produktinformationen zu „Technologien der Mikrosysteme (PDF)“

Das Buch vermittelt die Grundlagen zur Herstellung und dem Aufbau von Mikrosystemen. Es kann in zwei Teile aufgeteilt werden. Der Schwerpunkt von Teil I liegt hierbei auf den Mikrofertigungsprozessen und behandelt die Siliziumtechnologie, mikromechanische Strukturierungs- (anisotropes Ätzen, DRIE) und Bondprozesse (Eutectic Bonding, Fusion Bonding). Teil II behandelt die Aufbau- und Verbindungstechnik für Mikrosysteme und vermittelt Kenntnisse zu den Prinzipien der Chipmontage. Dabei stehen u.a. die Beschichtungstechnologien (Metallisierungssysteme) und Kontaktiertechnologien (Löten, Kleben, Bonden) im Vordergrund.

Der Inhalt

Definition eines Mikrosystems
Wichtige Halbleiter in der Mikrosystemtechnik
Herstellung von einkristallinem Silizium (Si), Galliumarsenid (GaAs) und Siliziumkarbid (SiC)
Reinraumtechnik
Silizium-Planartechnologie
Herstellung dreidimensionaler Strukturen in Silizium
Oberflächen-Mikromechanik (Surface Micromachining)
Waferbonden (Waferbonding)
Kontaktierverfahren
Nicht-Silizium-HARMS (High Aspect Ratio Micro-Structures)
Schichttechniken
CMOS- und Bipolar-Prozesse.

Die Zielgruppen

Studenten, Wissenschaftliche Mitarbeiter, Prozess Ingenieure/Technologen, Entwickler, Technologie Manager.

Der Autor

Ha Duong Ngo ist seit 2012 Professor für Mikrosystemtechnik und Mikrosensorik an der Hochschule für Technik und Wirtschaft Berlin und am Fraunhofer Institut IZM Berlin. Von 2015 bis 2021 war er Gruppenleiter Mikrosensorik am Fraunhofer Institut IZM Berlin. Davor war er Oberingenieur an der Technische Universität Berlin auf dem Gebiet Mikrosensor/Mikroaktuatorik und Referent Technologie bei Firma Schott AG.

Autoren-Porträt von Ha Duong Ngo

Ha Duong Ngo ist seit 2012 Professor für Mikrosystemtechnik und Mikrosensorik an der Hochschule für Technik und Wirtschaft Berlin. Von 2015 bis 2021 war er Gruppenleiter Mikrosensorik am Fraunhofer Institut IZM Berlin. Davor war er Oberingenieur an der Technische Universität Berlin auf dem Gebiet Mikrosensor/Mikroaktuatorik und Referent Technologie bei Firma Schott AG.