Lehrbuch Mikrosystemtechnik

Das Buch geht zunächst auf die mechanischen Grundelemente, wie Balken und Brücken, und auf die fluidischen Grundelemente, wie Mikrokanäle und Mikroventile, ein. Es folgt die Beschreibung von sensorischen, generatorischen, aktorischen und mehrstufig sensorischen Wandlern sowie ein Kapitel zu den Materialen in der Mikrosystemtechnik. Hier wird auch auf die Basis-/Substratmaterialien eingegangen, wozu beispielsweise die Herstellung von Silizium-Wafern und die Charakterisierung von Silizium erläutert werden. Weiter werden Materialien wie Glas und Quarzglas, Keramiken und piezoelektrische Materialien, Metalle, Schichtwerkstoffe, Polymere und Lote näher charakterisiert.

Anschliessend werden Herstellungsverfahren für Mikrokomponenten, die Verfahren zur Strukturübertragung, die Prozesse zur Beeinflussung der Substrateigenschaften, Plasmaprozesse, Schichtabscheidungsverfahren sowie Strukturierungsverfahren erläutert. Es folgt die Konfektionierung der Mikrokomponenten, und ein Einblick in die Mess- und Prüftechnik von Mikrosystemen. Abschliessend werden Entwurf und Entwicklung von Bauelementen, die Umsetzung von Wirkprinzipien und der effektive Materialeinsatz diskutiert.

Als Orientierungshilfe sind zu Beginn jedes grösseren Abschnitts die relevanten Schlüsselwörter vermerkt. Diese finden sich im Weiteren auch in der Marginalspalte wieder. Am Ende der Abschnitte befindet sich zudem der Absatz "Merke", in dem die wichtigsten Informationen noch einmalstichpunktartig zusammengefasst worden sind. So wird das Buch zum effizienten Nachschlagewerk für Studium und Praxis.

Das Buch fusst auf den Erkenntnissen einer Kooperation der Fachgruppe Mikrostrukturierte mechatronische Systeme der TU München mit dem FB Medienpädagogik der Universität Augsburg. Gemeinsam wurde erstmalig ein hochgradig systematisierter, sowohl fachlich als auch didaktisch aufbereiteter Lehransatz auf dem komplexen Gebiet der Mikrosystemtechnik entwickelt, der einen einfachen Einstieg und tief greifendes Lernen ermöglicht.