Laser in der Materialbearbeitung: 91 Pulsformung zur schädigungsarmen Laserbearbeitung von Silizium
Dissertationsschrift
Pulsformung zur schädigungsarmen Laserbearbeitung von Silizium
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Pulsformung zur schädigungsarmen Laserbearbeitung von Silizium
Bibliographische Angaben
- Autor: Michael Diez
- 2018, 184 Seiten, 86 Schwarz-Weiss-Abbildungen, Masse: 14,6 x 20,6 cm, Taschenbuch, Deutsch
- Verlag: Utz Verlag
- ISBN-10: 3831647372
- ISBN-13: 9783831647378
- Erscheinungsdatum: 28.06.2018
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