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21 Artikel

Introductory MEMS

Thomas M. Adams, Richard A. Layton

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MEMS Reference Shelf / MEMS Reliability

Allyson L. Hartzell, Mark G. Da Silva, Herbert R. Shea

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CMOS - MEMS

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Erschienen am 26.01.2005
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Reliability of MEMS
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Erschienen am 12.12.2007
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Advances in Gyroscope Technologies

Mario N. Armenise, Caterina Ciminelli, Francesco Dell'Olio, Vittorio M. N. Passaro

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Erschienen am 02.12.2010
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MEMS Vibratory Gyroscopes

Cenk Acar, Andrei Shkel

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Erschienen am 23.10.2008
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Erschienen am 14.09.2012
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Erschienen am 06.09.2012
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Erschienen am 16.03.2011
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Erschienen am 21.06.2011
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Erschienen am 08.03.2006
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Amplitude Modulation Atomic Force Microscopy
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Surfaces and Interfaces of Electronic Materials
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Erschienen am 10.03.2010
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MEMS in der Mikrosystemtechnik

Markus Glück

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Erschienen am 27.02.2015
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