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Untersuchung des Potentials elektrochemischer Senkbearbeitung mit oszillierender Werkzeugelektrode für Strukturierungsaufgaben der Mikrosystemtechnik (PDF)

 
 
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In der vorliegenden Arbeit wuden einige grundlegende Aspekte des Einsatzes des Verfahrens der elektronischen Senkbearbeitung mit oszillierender Werkzeugelektode für Strukturierungsaufgaben in der Mikrosystemtechnik untersucht. Hierbei wurden insbesondere...
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Kommentar zu "Untersuchung des Potentials elektrochemischer Senkbearbeitung mit oszillierender Werkzeugelektrode für Strukturierungsaufgaben der Mikrosystemtechnik"
 
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