Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces VI (PDF)
(Sprache: Englisch)
Proceedings of the 6h International Symposium on Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces (UCPSS 2002), Held in Ostens, Belgium, September 2002
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Proceedings of the 6h International Symposium on Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces (UCPSS 2002), Held in Ostens, Belgium, September 2002
Bibliographische Angaben
- 2003, 320 Seiten, Englisch
- Herausgegeben: Marc Heyns, Paul W. Mertens, Marc Meuris
- Verlag: Trans Tech Publications
- ISBN-10: 3035707200
- ISBN-13: 9783035707205
- Erscheinungsdatum: 02.05.2003
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eBook Informationen
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