Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces XIII (PDF)
(Sprache: Englisch)
Selected, peer reviewed papers from the 13th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (UCPSS), September 12-14, 2016, Knokke, Belgium
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Produktinformationen zu „Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces XIII (PDF)“
Selected, peer reviewed papers from the 13th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (UCPSS), September 12-14, 2016, Knokke, Belgium
Bibliographische Angaben
- 2016, 414 Seiten, Englisch
- Herausgegeben: Paul W. Mertens, Marc Meuris, Marc Heyns
- Verlag: Trans Tech Publications
- ISBN-10: 3035730849
- ISBN-13: 9783035730845
- Erscheinungsdatum: 05.09.2016
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eBook Informationen
- Dateiformat: PDF
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