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Silizium-Planartechnologie / Teubner Studienbücher Physik (PDF)

Grundprozesse, Physik und Bauelemente
 
 
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Die Grundlagen der Mikroelektronik werden kompakt und in leicht verständlicher Form vorgestellt. Der Leser erfährt, wie integrierte Schalkreise hergestellt werden, wie sie funktionieren und wie ihre Grundelemente physikalisch beschrieben werden können....
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