Nanolithography / NATO Science Series E: Bd.264 (PDF)
A Borderland between STM, EB, IB, and X-Ray Lithographies
(Sprache: Englisch)
Success in the fabrication of structures at the nanometer length scale has opened up a new horizon to condensed matter physics: the study of quantum phenomena in confined boxes, wires, rings, etc. A new class of electronic devices based on this physics has...
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Produktinformationen zu „Nanolithography / NATO Science Series E: Bd.264 (PDF)“
Success in the fabrication of structures at the nanometer length scale has opened up a new horizon to condensed matter physics: the study of quantum phenomena in confined boxes, wires, rings, etc. A new class of electronic devices based on this physics has been proposed, with the promise of a new functionality for ultrafast and/or ultradense electronic circuits. Such applications demand highly sophisticated fabrication techniques, the crucial one being lithography.
Nanolithography contains updated reviews by major experts on the well established techniques -- electron beam lithography (EBL), X-ray lithography (XRL), ion beam lithography (IBL) -- as well as on emergent techniques, such as scanning tunnelling lithography (STL).
Nanolithography contains updated reviews by major experts on the well established techniques -- electron beam lithography (EBL), X-ray lithography (XRL), ion beam lithography (IBL) -- as well as on emergent techniques, such as scanning tunnelling lithography (STL).
Bibliographische Angaben
- 2013, 1994, 216 Seiten, Englisch
- Herausgegeben: M. Gentili, Carlo Giovannella, Stefano Selci
- Verlag: Springer Netherlands
- ISBN-10: 9401582610
- ISBN-13: 9789401582612
- Erscheinungsdatum: 09.03.2013
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eBook Informationen
- Dateiformat: PDF
- Grösse: 19 MB
- Mit Kopierschutz
- Vorlesefunktion
Sprache:
Englisch
Kopierschutz
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