Beam Injection Assessment of Defects in Semiconductors (PDF)
(Sprache: Englisch)
Proceedings of the 5th International Workshop on Beam Injection Assessment of Defects in Semiconductors (BIADS 98), held in Parkhotel Schloss Wulkow near Berlin, Germany, August/September 1998
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Proceedings of the 5th International Workshop on Beam Injection Assessment of Defects in Semiconductors (BIADS 98), held in Parkhotel Schloss Wulkow near Berlin, Germany, August/September 1998
Bibliographische Angaben
- 1998, 550 Seiten, Englisch
- Herausgegeben: Martin Kittler, Otwin Breitenstein, A. Endrös, Wolfgang Schröter
- Verlag: Trans Tech Publications
- ISBN-10: 3035706824
- ISBN-13: 9783035706826
- Erscheinungsdatum: 18.12.1998
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eBook Informationen
- Dateiformat: PDF
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