VHF and Microwave Discharge Plasmas

Surface Heating of Plasmas at VHF and Microwave Frequency in Advanced Materials Processing (Sprache: Englisch)
 
 
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Recent requirements of high-density large-area plasmas for materials processing have led to innovative two plasma sources: one is very high frequency (VHF) capacitive plasma at 30-100 MHz and the other is surface wave plasma (SWP) at microwave frequency,...
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