The Source/Drain Engineering of Nanoscale Germanium-based MOS Devices

(Sprache: Englisch)
 
 
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This book mainly focuses on reducing the high parasitic resistance in the source/drain of germanium nMOSFET. With  adopting of the Implantation After Germanide (IAG) technique, P and Sb co-implantation technique and Multiple Implantation and Multiple...
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Kommentar zu "The Source/Drain Engineering of Nanoscale Germanium-based MOS Devices"
 
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