Rapid Thermal Processing of Semiconductors / Microdevices (PDF)
(Sprache: Englisch)
Rapid thermal processing has contributed to the development of single wafer cluster processing tools and other innovations in integrated circuit manufacturing environments. Borisenko and Hesketh review theoretical and experimental progress in the field,...
sofort als Download lieferbar
eBook (pdf)
Fr. 260.00
inkl. MwSt.
- Kreditkarte, Paypal, Rechnung
- Kostenloser tolino webreader
Produktdetails
Produktinformationen zu „Rapid Thermal Processing of Semiconductors / Microdevices (PDF)“
Rapid thermal processing has contributed to the development of single wafer cluster processing tools and other innovations in integrated circuit manufacturing environments. Borisenko and Hesketh review theoretical and experimental progress in the field, discussing a wide range of materials, processes, and conditions. They thoroughly cover the work of international investigators in the field.
Bibliographische Angaben
- Autoren: Victor E. Borisenko , Peter J. Hesketh
- 2013, 1997, 358 Seiten, Englisch
- Verlag: Springer, New York
- ISBN-10: 1489918043
- ISBN-13: 9781489918048
- Erscheinungsdatum: 22.11.2013
Abhängig von Bildschirmgrösse und eingestellter Schriftgrösse kann die Seitenzahl auf Ihrem Lesegerät variieren.
eBook Informationen
- Dateiformat: PDF
- Grösse: 38 MB
- Mit Kopierschutz
- Vorlesefunktion
Sprache:
Englisch
Kopierschutz
Dieses eBook können Sie uneingeschränkt auf allen Geräten der tolino Familie lesen. Zum Lesen auf sonstigen eReadern und am PC benötigen Sie eine Adobe ID.
Kommentar zu "Rapid Thermal Processing of Semiconductors / Microdevices"
0 Gebrauchte Artikel zu „Rapid Thermal Processing of Semiconductors / Microdevices“
Zustand | Preis | Porto | Zahlung | Verkäufer | Rating |
---|
Schreiben Sie einen Kommentar zu "Rapid Thermal Processing of Semiconductors / Microdevices".
Kommentar verfassen