Entwicklung und Optimierung von Prozesskomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren / IPA-IAO - Forschung und Praxis Bd.202 (PDF)
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Produktdetails
Produktinformationen zu „Entwicklung und Optimierung von Prozesskomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren / IPA-IAO - Forschung und Praxis Bd.202 (PDF)“
Bibliographische Angaben
- Autor: Walter Olbrich
- 2013, 1994, 126 Seiten, Deutsch
- Verlag: Springer-Verlag GmbH
- ISBN-10: 3642478921
- ISBN-13: 9783642478925
- Erscheinungsdatum: 08.03.2013
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eBook Informationen
- Dateiformat: PDF
- Grösse: 8.11 MB
- Ohne Kopierschutz
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