Vakuumbeschichtung
Verfahren und Anlagen
Schwerpunkte in Band 2 bilden das Aufdampfen im Hochvakuum, das Ionenplattieren, die Kathodenzerstäubung, teilchengestützte Verfahren, die Erzeugung von Mikrostrukturen, Plasmabehandlungsverfahren und die Abscheidung aus der Gasphase (CVD).
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Produktinformationen zu „Vakuumbeschichtung “
Klappentext zu „Vakuumbeschichtung “
Schwerpunkte in Band 2 bilden das Aufdampfen im Hochvakuum, das Ionenplattieren, die Kathodenzerstäubung, teilchengestützte Verfahren, die Erzeugung von Mikrostrukturen, Plasmabehandlungsverfahren und die Abscheidung aus der Gasphase (CVD).
Bibliographische Angaben
- 2012, Softcover reprint of the original 1st ed. 1995., 481 Seiten, Masse: 24,4 cm, Kartoniert (TB), Deutsch
- Herausgegeben:Kienel, Gerard; Röll, Klaus
- Verlag: Springer
- ISBN-10: 3642633986
- ISBN-13: 9783642633980
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