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Systematik eines Beschleunigungssensor-Designkonzepts auf MEMS-Basis.

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In dieser Dissertation wird eine Methodik zur Entwicklung von Beschleunigungssensoren, die speziell hochfrequente Belastungen hoher Amplitude messen sollen, vorgestellt. Mithilfe der Methodik, welche gleichzeitig Sensitivität und Bandbreite des Sensors...
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