Process Modeling of Chemical Mechanical Planarization

An Integrated Model from Abrasive Scale to Chip Scale. Basics, Characterizations, Modeling and Verification (Sprache: Englisch)
 
 
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Chemical Mechanical Planarization (CMP) is one of the key enabling technologies for modern IC fabrication. However, mainly due to the high complexities coming from various interactions among mechanical reactions and chemical reactions, its fundamental...
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