Mikrosystemtechnik
Prozessschritte, Technologien, Anwendungen
Lehrbuch und Nachschlagewerk zur Mikrosystemtechnik
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Produktinformationen zu „Mikrosystemtechnik “
Lehrbuch und Nachschlagewerk zur Mikrosystemtechnik
Klappentext zu „Mikrosystemtechnik “
Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Diejeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.
Inhaltsverzeichnis zu „Mikrosystemtechnik “
Der Begriff 'Mikrosystemtechnik' - Aufbau eines Mikrosystems - Prozesstechnik - Basisprozesse der Mikrosystemtechnik - Sensor- und Aktoreffekte - Anwendungen der Mikrosystemtechnik - Hybride Systeme
Autoren-Porträt von Ulrich Hilleringmann
Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann ist Leiter des Fachgebietes Sensorik an der Universität Paderborn und lehrt Halbleitertechnologie, Messtechnik, Sensorik und Prozessmesstechnik.
Bibliographische Angaben
- Autor: Ulrich Hilleringmann
- 2006, 2006, 274 Seiten, mit Abbildungen, Masse: 14,8 x 21 cm, Kartoniert (TB), Deutsch
- Verlag: Vieweg+Teubner
- ISBN-10: 3835100033
- ISBN-13: 9783835100039
- Erscheinungsdatum: 25.04.2006
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