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Introducción Histórica Sobre el desarrollo de la tecnología de MEMS

Sistemas-Micro-Electro-Mecánicos (Sprache: Spanisch)
 
 
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En este trabajo se reúnen eventos históricos que dieron forma al desarrollo de micromáquinas cuyas dimensiones se encuentran en el rango de los micrómetros y que son conocidos como Sistemas-Micro-Electro-Mecánicos (MEMS). Las dimensiones de estos sistemas...
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