Himicheskoe osazhdenie iz gazovoj fazy stekloobraznyh tonkih plenok
(Sprache: Russisch)
Oblast' monografii - poluchennye metodami himicheskogo osazhdeniya iz gazovoj fazy (HOGF) tonkie neorganicheskie stekloobraznye plenki, ispol'zuemye v tehnologiyah mikrojelektroniki, mikro- i nanosistemnoj tehniki, optojelektroniki. Na osnovanii ob#emnogo...
Leider schon ausverkauft
versandkostenfrei
Buch
Fr. 98.00
inkl. MwSt.
- Kreditkarte, Paypal, Rechnungskauf
- 30 Tage Widerrufsrecht
Produktdetails
Produktinformationen zu „Himicheskoe osazhdenie iz gazovoj fazy stekloobraznyh tonkih plenok “
Klappentext zu „Himicheskoe osazhdenie iz gazovoj fazy stekloobraznyh tonkih plenok “
Oblast' monografii - poluchennye metodami himicheskogo osazhdeniya iz gazovoj fazy (HOGF) tonkie neorganicheskie stekloobraznye plenki, ispol'zuemye v tehnologiyah mikrojelektroniki, mikro- i nanosistemnoj tehniki, optojelektroniki. Na osnovanii ob#emnogo jexperimental'nogo materiala, v tom chisle poluchennogo lichno avtorom i kollektivami pod rukovodstvom avtora, proanalizirovany processy HOGF i svojstva tonkih plenok nitrida kremniya, dioxida kremniya, fosfor- i borsilikatnyh tonkih plenok. Sozdany osnovnye predstavleniya o kinetike rosta plenok pri HOGF. Ustanovleny kolichestvennye kriterii i obosnovana kineticheskaya shema processov HOGF, predlozheny sposoby optimizacii processov i apparatury HOGF. Ispol'zovany sovremennye metody issledovanij struktury, sostava i svojstv tonkih plenok. Predlozheny shemy stroeniya plenok stekol, izlozheny podhody k optimizacii tonkoplenochnyh materialov. Vydeleny osnovnye istoricheskie jetapy razvitiya processov HOGF tonkih plenok primenitel'no k tehnologii mikrojelektroniki, sformulirovany zadachi i napravleniya dal'nejshego razvitiya. Rekomenduetsya magistrantam i aspirantam tehnicheskih universitetov, issledovatelyam i tehnologam sovremennyh naukoemkih proizvodstv.
Bibliographische Angaben
- 2018, 388 Seiten, Masse: 22 cm, Kartoniert (TB), Russisch
- Verlag: LAP Lambert Academic Publishing
- ISBN-10: 6137329259
- ISBN-13: 9786137329252
Sprache:
Russisch
Kommentar zu "Himicheskoe osazhdenie iz gazovoj fazy stekloobraznyh tonkih plenok"
0 Gebrauchte Artikel zu „Himicheskoe osazhdenie iz gazovoj fazy stekloobraznyh tonkih plenok“
Zustand | Preis | Porto | Zahlung | Verkäufer | Rating |
---|
Schreiben Sie einen Kommentar zu "Himicheskoe osazhdenie iz gazovoj fazy stekloobraznyh tonkih plenok".
Kommentar verfassen